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電子束,激光鍍膜儀
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  • 電子束蒸發(fā)鍍膜 該設(shè)備以電子束蒸發(fā)方式鍍膜設(shè)備,主要用于制備各種導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜,微納器件微加工,電鏡樣品預(yù)處理...
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  • 激光鍍膜設(shè)備 激光鍍膜設(shè)備系統(tǒng)由真空腔室(主濺射室、進樣室)、樣品傳遞機構(gòu)、樣品架、旋轉(zhuǎn)靶臺、真空排氣、真空測量、電器控制、配氣、計算...
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