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產(chǎn)品名稱：卷繞式高真空蒸發(fā)鍍膜儀
產(chǎn)品型號：CY-EVH600R-II-HH-SS
產(chǎn)品廠商：成越科儀
產(chǎn)品文檔：

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簡單介紹：

卷繞式蒸發(fā)鍍膜儀可用于不同種類的材料的薄膜生長，大多數(shù)金屬和某些有機材料薄膜，如金屬、半導(dǎo)體、氧化物等

詳情介紹：

本儀器是一種高真空蒸發(fā)鍍膜儀，鎢絲籃（或鎢舟）用作蒸發(fā)源，并且樣品臺和蒸發(fā)源之間的距離是可調(diào)的。該儀器可以穩(wěn)定地蒸發(fā)金屬和某些有機物。采用高真空不銹鋼腔體，密封性能好，真空性能好。該腔室配有觀察窗，因此可以看到涂層過程。采用分子泵系統(tǒng)的**真空10E-4Pa，可有效提高涂層質(zhì)量，并能滿足大多數(shù)蒸發(fā)涂層實驗所需的真空環(huán)境。

高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀用途：

卷繞式蒸發(fā)鍍膜儀可用于不同種類的材料的薄膜生長，大多數(shù)金屬和某些有機材料薄膜，如金屬、半導(dǎo)體、氧化物等。

高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱		卷繞式高真空蒸發(fā)鍍膜儀
產(chǎn)品型號		CY-EVH600R-II-HH-SS
供電電壓		單相，AC220V, 50Hz
真空腔體	內(nèi)壁處理	電解拋光
	腔體材料	304不銹鋼
	腔體尺寸	臥式Φ600mm×500mm
	觀察窗口	前置φ100mm含遮光片
	開啟方式	前開門式
卷繞系統(tǒng)	收放卷	Φ200mmx300mm
	速度	60m/min（可調(diào)）
	張緊	可調(diào)
蒸發(fā)源和電源	部件數(shù)量	1套金屬蒸發(fā)源，帶獨立擋板
	電極電壓	10V
	送絲速度	≤3m/min
	蒸發(fā)電流	功率2KW，*大電流為160A，調(diào)節(jié)精度為1A
	蒸發(fā)器	鎢舟，1個
真空系統(tǒng)	前級泵	雙極旋片泵，抽速1.1L/s
	渦輪分子泵	抽速：600L/s；額定轉(zhuǎn)速：24000rpm；啟動時間：≦4.5min 冷卻方式：水冷+空冷進氣接口：ISO150 出氣接口：KF40 真空度：5.010^-4Pa (5.010^-6mbar) 抽真空到5.0×10^-3Pa (5.0*10^-5mbar)的時間少于40分鐘
	復(fù)合真空計	測量范圍 10⁵Pa~10^-5Pa
膜厚監(jiān)測儀	測量精度	0.1?
	測量速度	100ms-1s/次
	可設(shè)置測量范圍	500000?（鋁）
	標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體	6MHz
	適用晶體尺寸	Φ14mm (標(biāo)配10片)
空壓機		作用于電控氣動閥
水冷機		冷卻水溫度：≦37℃ 流速：10L/min 功率：0.1KW 冷卻功率：50W/℃ 水箱容量：9L
控制系統(tǒng)		CYKY自研專業(yè)級控制器