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旋涂儀是一種實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，主要用于制備薄膜材料，其應(yīng)用范圍包括制備太陽能電池，制備金屬、半導(dǎo)體、氧化物、聚合物等材料的薄膜，制備納米材料、納米結(jié)構(gòu)、納米薄膜等
旋涂儀產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、專業(yè)級伺服電機(jī)驅(qū)動,高精度、高重復(fù)性
2、人性化設(shè)計(jì)，ARM控制，安卓全彩觸屏操作
3、不銹鋼內(nèi)腔,陽極氧化處理面板，美觀、整潔
4、可連續(xù)、自動供膠,滿足工業(yè)用途
5、可添加防濺罩式清洗和顯影功能,滿足定制需要
6、適合處理超大或超重底物，*大處理12寸圓形底物
7、更大尺寸和重型底物以及內(nèi)腔抽真空等要求均可定制
旋涂儀技術(shù)參數(shù)：
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產(chǎn)品名稱 |
全自動勻膠機(jī) |
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產(chǎn)品型號 |
CY-SPC-SS |
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供電電壓 |
AC220V 50Hz |
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基片尺寸 |
6寸、8寸鋁合金真空載物盤 |
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腔體材質(zhì) |
不銹鋼 |
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轉(zhuǎn)速 |
20-5000rpm |
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轉(zhuǎn)速分辨率 |
±lrpm |
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加速度可調(diào)范圍 |
20-10000rpm/s |
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單步時長 |
3000s |
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時間分辨率 |
0.1s |
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編程 |
可編程100組100步程序 |
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點(diǎn)膠端口 |
可擴(kuò)展帶四路自動點(diǎn)膠端口 |
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點(diǎn)膠功能 |
可升級多路自動點(diǎn)膠功能 |
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滴膠方式 |
自動 |
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操作方式 |
液晶屏操作系統(tǒng) |
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產(chǎn)品尺寸 |
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產(chǎn)品重量 |
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