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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:離子源雙靶磁控濺射鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MSH500X-II-DCRF-SS
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
離子源雙靶磁控濺射鍍膜儀為我公司研發(fā)的配有兩個(gè)靶位的實(shí)驗(yàn)室專用鍍膜儀,設(shè)備配有兩臺(tái)直流電源,兩臺(tái)射頻電源,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜等
詳情介紹:

離子源雙靶磁控濺射鍍膜儀為我公司研發(fā)的配有兩個(gè)靶位的實(shí)驗(yàn)室專用鍍膜儀,設(shè)備配有兩臺(tái)直流電源,兩臺(tái)射頻電源,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜等。

磁控濺射相較于普通的等離子濺射擁有能量高速度快的優(yōu)點(diǎn),鍍膜速率高,樣品溫升低,是典型的高速低溫濺射。磁控靶配有水冷夾層,水冷機(jī)能夠有效的帶走熱量,避免熱量在靶面聚集,使磁控鍍膜能長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作。

本型號(hào)采用靶下置布局,樣品臺(tái)在上方,與靶面高度可通過(guò)程序**可調(diào),并且可旋轉(zhuǎn)加熱,性能優(yōu)異。


離子源雙靶磁控濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

離子源雙靶磁控濺射鍍膜儀

產(chǎn)品型號(hào)

CY-MSH500X-II-DCRF-SS

供電電壓

AC220V,50Hz

整機(jī)功率

6KW

極限真空度

5x10-4Pa

樣品臺(tái)

尺寸

150mm

高度

上下70mm**可調(diào)

加熱溫度

850

轉(zhuǎn)速

1-20rpm

磁控濺射頭參數(shù)

數(shù)量

4個(gè)2”磁控濺射頭

冷卻方式

水冷,所需流速10L/min

水冷機(jī)規(guī)格

10L/min流速的循環(huán)水冷機(jī)

真空腔體

腔體尺寸

φ500mm X550mm H

腔體材料

不銹鋼

觀察窗口

φ100mm

開(kāi)啟方式

前開(kāi)門式

氣體流量控制器

1路質(zhì)量流量計(jì)用于控制Ar流量,量程為:200SCCM  Ar;

真空泵

配有一套分子泵系統(tǒng),抽速1200L/S

膜厚儀

石英振動(dòng)薄膜測(cè)厚儀一臺(tái),分辨率0.10 ?

濺射電源

直流電源2臺(tái),500W,適用于制備金屬膜

射頻電源2臺(tái),500W,適用于非金屬鍍膜

操作方式

CYKY自研專業(yè)級(jí)控制系統(tǒng)

整機(jī)尺寸

1250mm X 1000mm X2000mm

整機(jī)重量

500kg


豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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