小型雙爐體滑道管式爐同時(shí)可選擇電動(dòng)滑軌、質(zhì)量流量計(jì)（MFC）控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建CVD系統(tǒng)。

該設(shè)備可用于石墨烯制備、硫化物制備等。

小型雙爐體滑道管式爐技術(shù)參數(shù)：

微 型 管 式 爐	產(chǎn)品型號(hào)	CY-O1200-50SDM
	爐管材質(zhì)	高純石英
	爐管直徑	50mm
	爐管長度	1400mm
	加熱區(qū)長	300mm
	恒溫區(qū)長	200mm
	工作溫度	0～1100℃
	控溫精度	±1℃
	控溫模式	30段或50段程序控溫
	顯示模式	高亮數(shù)碼管數(shù)字顯示
	密封方式	304不銹鋼真空法蘭
	法蘭接口	1/4英寸卡套接頭，KF16/25/40接頭
	可抽真空	4.4E-3Pa
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
供 氣 系 統(tǒng)	產(chǎn)品型號(hào)	CY-3Z
	氣體通道	3通道
	測量部件	氣體質(zhì)量流量計(jì)
	測量量程	A通道：0～100SCCM    H2氣	備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時(shí)需要特別注明?？筛鶕?jù)客戶的具體要求來選配對(duì)應(yīng)的氣體種類和量程的流量計(jì)。
		B通道：0～300SCCM    N2氣
		C通道：0～500SCCM    Ar氣
	測量精度	±1.0%F.S
	管道耐壓	3MPa
	工作壓差	50～300KPa
	連接管道	304不銹鋼
	控制閥門	304不銹鋼針閥
	接口規(guī)格	進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
排 氣 系 統(tǒng)	機(jī)械泵	旋片泵
	抽氣速率	4L/S
	排氣接口	KF16
	真空測量	電阻規(guī)
	極限真空	1.0E-1Pa
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
	抽氣接口	KF16

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