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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號:CY-PLZ180-I-DC-Q
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
本型號等離子濺射儀,采用二級濺射方式,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗,本設(shè)備配備換位自轉(zhuǎn)式樣品臺,用戶可以在觸控屏上實現(xiàn)一鍵換位,樣品臺可在兩個靶位自由切換,本設(shè)備體積小巧造型美觀功能強大,是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。
詳情介紹:
本型號換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀,采用二級濺射方式,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝,鍍膜過程中無高溫,不易產(chǎn)生熱損傷。該小型換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀使用PLC控制系統(tǒng),全部觸摸屏操作,便于學(xué)習(xí)使用。換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀配備換位自轉(zhuǎn)式樣品臺,用戶可以在觸控屏上實現(xiàn)一鍵換位,樣品臺可在兩個靶位自由切換,到位后樣品臺還可進行自轉(zhuǎn),以增強鍍膜的均勻性。另外客戶可以選配晶振式膜厚儀對膜厚進行監(jiān)測,以提高鍍膜的精準(zhǔn)度。

本設(shè)備體積小巧造型美觀功能強大,是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。

換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀技術(shù)參數(shù):


產(chǎn)品名稱

換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀

產(chǎn)品型號

CY-PLZ180-I-DC-Q

樣品臺

尺寸

60mm

到靶面距離

可在兩個靶位間自動切換

等離子濺射靶

數(shù)量

2英寸x1

冷卻方式

自然冷卻    

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X 150mm    

觀察窗口

全向可視

腔體材料

高純石英

開啟方式

頂蓋拆卸式

上下蓋材質(zhì)

304不銹鋼

抽氣接口

KF25

進氣接口

1/4英寸卡套接頭

電源配置

數(shù)量

直流電源x1

輸出功率

*大150W

濺射電源

3000V

*大濺射電流

50mA

真空系統(tǒng)

真空泵類型

雙極旋片真空泵

抽氣接口

KF25

排氣接口

KF16

抽氣速率

1.1L/s4m3/h

極限真空度

1Pa

真空測量

電阻真空規(guī)

其他

供電電源

AC 220V  50Hz

整機功率

1.5KW/2KW(旋轉(zhuǎn)加熱)

整機尺寸

570mm X 450mm X450mm

整機重量

30kg


 

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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